アクセリス、SEMICON Japan 2023への参加を発表

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Axcelis Technologies, Inc.

2023-12-05 07:00 859

テクノロジーおよび製造プロセスにおいて大きな優位性を提供するPurionおよびGSD Ovationシリーズのイオン注入装置を展示

マサチューセッツ州ビバリー, 2023年12月5日 /PRNewswire/ -- 半導体業界向けのイオン注入ソリューションを提供する大手サプライヤーのアクセリス・テクノロジー社（Nasdaq：ACLS）は本日、SEMICON Japan 2023展示会でPurion™およびGSD Ovation™シリーズのイオン注入装置を展示すると発表しました。この展示会は、12月13日から15日まで、日本の東京ビッグサイトで開催されます。アクセリスは、東5ホールの5821ブースに出展します。

半導体メーカーの方々をアクセリス展示ブースにご招待して、技術および製造上の大きな利点をもたらす革新的なイオン注入ソリューションに直接触れていただきます。

Purion Power™シリーズ - 薄型シリコン、TAIKO、およびシリコンカーバイド（SiC）加工に関する当社の革新的なソリューションを採用し、パワーデバイスのあらゆる用途に対応しています。
Purion H™シリーズ - 高電流イオン注入の包括的なソリューションを提供するために設計された、新しいPurion H5™およびPurion Dragon™が含まれます。
Purion H200™ - モノのインターネット（IoT）やパワー用途のために設計されたデバイス特有の注入ニーズを念頭に置いて開発された、当社が誇る最先端の単一高電流、中エネルギー注入機です。
Purion XE™シリーズ - 新しいPurion XEmax™を含む、業界をリードする高エネルギー注入プラットフォームであり、特許取得済みのBoost Technology™を備え、最大15MeVの最先端イメージセンサー用途向けに設計されています。
Purion M™シリーズ - 極めて広範な中電流線量領域での利用を実現し、進化を続ける最新の注入要件に対応する比類のない柔軟性を提供します。
GSD Ovation™ - ウェハ分割（シリコンおよびシリコンカーバイド）や代替的なサブストレート（リチウムタンタレートおよびセラミック）を採用した新たな用途に対応しており、高電流および高エネルギーのバッチプラットフォーム能力を拡張する上で最もコスト効率が高い手段を提供します。

アクセリスはさらに、12月14日（木）に以下のイベントを開催します。

SiCパワーデバイス製造におけるイオン注入テクノロジー
出展企業の技術スポット（東5ホール、午後3時30分～3時50分）
チップメーカーがSiCウェハの150 mmから200 mmへの移行を進める中で、パワーデバイス市場は大きな転機を迎えています。イオン注入装置は、複数のウェハサイズや様々な種類のサブストレートに対応し、様々な注入温度で稼働できる柔軟性を備えていなければなりません。
アクセリス・ハッピーアワー・セレブレーション
（東5ホール5821ブース、午後4時～5時）
飲み物やスナックをご用意してお待ちしています。

アクセリス・テクノロジーズの社長兼CEOであるRussell Lowは次のように述べています。「当社はこの重要な市場に参入することで、日本のチップメーカーの皆様に最先端のイオン注入技術を提供する機会が得られることを嬉しく思っています。特定用途に特化した当社の一連のシステム各は、従来のIC用途はもちろん、最新のあらゆるIC用途においても、イオン注入における高電流、中電流、中エネルギー、高エネルギーの要件に対応しています。」

アクセリスジャパンでカントリーマネージャーを務めるCharles Pieczulewskiは次のようにコメントしています。「日本のパワーデバイス製造において当社のプレゼンス基盤が拡大していることを嬉しく思っています。お客様の成功を確実にするために、最も革新的で可能なインプラント技術とサポートソリューションを提供することで、市場シェアの拡大に引き続き注力していきます。日本のお客様からは、メモリ、ロジック半導体、およびイメージセンサーを対象とする当社の幅広い注入製品ポートフォリオに引き続き高い評価をいただいています。」

アクセリスについて：
マサチューセッツ州ビバリーに本社を置くアクセリス（Nasdaq：ACLS）は、45年以上にわたり半導体業界に革新的で生産性の高いソリューションを提供してきました。アクセリスは、IC製造プロセスにおいて最も重要で不可欠な工程の一つである、イオン注入システムの設計、製造、および完全なライフサイクルサポートを通じて、最適なプロセスアプリケーションを実現する開発に従事しています。アクセリスの詳細については、www.axcelis.comをご覧ください。