ラムリサーチ、セルフメンテナンス装置で記録的な生産性を達成

※本資料は、米Lam Researchが2019年4月24日に発表したプレスリリースの和訳版です。

【フリーモント（米カリフォルニア州）2019年5月20日PR Newswire】

ラムリサーチ（Lam Research Corp., Nasdaq: LRCX、本社：米国カリフォルニア州フリーモント）は本日、セルフメンテナンス装置を使用して半導体処理工程の生産性において新しい業界ベンチマークを達成したことを発表しました。大手半導体メーカーとの提携により、ラムリサーチのエッチングプロセスプラットフォームは1年間中断することなく、連続した生産の実証に成功しています。

現在の半導体処理工程環境では、ウエットクリーニング間隔がエッチングシステムの生産性の主な制約になっています。安定したパフォーマンスを維持し、プラズマプロセスによって消耗した部品を交換するため、エッチングプロセスモジュールは通常毎月または数週間おきにウエットクリーニングを実施する必要があります。2019年4月、ラムリサーチと半導体メーカーは365日間にわたりウェットクリーニングメンテナンスなしで生産を継続するという意欲的な目標を達成しました。

ラムリサーチでエッチプロダクトグループ担当シニアバイスプレジデント兼ゼネラルマネージャーを務めるVahid Vahediは次のように述べています。「お客様が直面する最も困難な技術的問題や生産性の課題に対して、当社はお客様と連携して取り組むことにコミットしており、今回の画期的な成果はその姿勢を反映するものです。当社は、半導体メーカーがより少ない労力でも、より迅速、正確かつ生産的になることを実現するIndustry 4.0技術の提供に取り組んでいます。この新しい業界ベンチマークが実証するように、セルフメンテナンス装置は作業に関わる労力を減らし、生産効率を高めることができます。」

エッチングプロセスモジュールは、消耗部品のメンテナンスと交換を必要とします。これには、チャンバーを開き、部品を交換し、ウエットクリーニングを実施し、その後に改めてチャンバーの生産条件を確認する必要があるため、多くの時間と労力を要することがあります。また、これには複雑なスケジュール管理が伴い、生産性にも影響を与えます。セルフメンテナンス装置は、いつ部品を交換する必要があるか装置が把握しており、チャンバーを開くことなく自律的に部品交換を行います。これにより、装置のダウンタイム（停止時間）が短縮され、工場全体の生産性が向上します。

今回活用された革新的なソリューションには、ラムリサーチのKiyo(R)プロセスモジュール、真空搬送機能を備えたCorvus(R) Rの交換可能なエッジリング、長寿命のチャンバーコンポーネント、最適化されたウエハーレス・オートクリーンテクノロジーが含まれます。業界初となる、消耗部品の自動交換システムであるCorvus Rは、比類なき生産性を実現するうえで重要な要素となっています。エッジリングの消耗は、交換するために頻繁にチャンバーを開く作業を必要とし、長年エッチング工程における根本的な課題となっていました。Corvus Rは、チャンバーを開くことなく、使用済みのエッジリングを自動的に新しいものと交換します。

これらのテクノロジーは、ラムリサーチのEquipment Intelligence(TM)ソリューション群の一部です。機械学習、AI（人工知能）イニシアチブ、自動化された自己認識型ハードウェアとプロセスを統合したEquipment Intelligenceソリューションを活用することで、生産性とパフォーマンスを向上し、革新を促進することができます。

ラムリサーチについて

Lam Research Corporationは、半導体業界に革新的なウェハー製造機器とサービスを提供するグローバルサプライヤーです。世界をリードする半導体企業の信頼されるパートナーとして、優れたシステムエンジニアリング能力、技術的リーダーシップ、顧客企業の成功に貢献するという揺るぎないコミットメントを組み合わせ、より優れたデバイスパフォーマンスの実現を通じ、革新を推進します。実際、現在製造されている高度なチップのほとんどが、ラムリサーチの技術を活用しています。ラムリサーチ（Nasdaq：LRCX）は、カリフォルニア州フリーモントに本社を置くFORTUNE 500(R)企業で、世界中に事業を展開しています。詳細については公式サイトをご参照ください。

https://japan.lamresearch.com/

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（日本語リリース：クライアント提供）

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