EV Group、かつてない柔軟な多機能マイクロ・ナノインプリントソリューションで大量の光学デバイス製造を可能に

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EV Group

2022-01-20 08:00 1421

ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）、レンズ成形、レンズスタッキング（UVボンディング）など 複数のUVベースプロセスを単一のプラットフォームに統合した最先端のEVGソリューション - EVG7300^®

オーストリアザンクト・フローリアン, 2022年1月20日 /PRNewswire/ -- MEMS、ナノテクノロジー、半導体向けのウェーハ接合およびリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるEV Group（本社：オーストリアザンクト・フローリアン、以下：EVG）は、EVG7300 全自動SmartNILナノインプリント/ウェーハレベル・オプティクス装置を発表しました。EVG7300は、ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）、レンズ成形、レンズスタッキング（UVボンディング）などの複数のUVベースプロセス機能を単一プラットフォームに統合した同社の最先端のソリューションです。この量産対応型多機能システムは、高度な研究開発やお客様の生産ニーズに合わせて、マイクロ・ナノパターニングや機能層積層を含む新規アプリケーションに幅広く対応するよう設計されています。これらには、ウェーハレベル・オプティクス（WLO）、光学センサーやプロジェクター、車載照明、拡張現実ヘッドセット用の導波路、バイオ・メディカルデバイス、メタレンズやメタ表面、そしてオプトエレクトロニクスなどのアプリケーションが含まれ、かつ最大300 mmのウェーハサイズに対応します。高精度の位置合わせ、高度なプロセス制御、および高スループットといった特長を生かし、さまざまな形状かつ高精度のナノ・マイクロ光学部品、およびデバイスの大量生産ニーズに応えます。

複数のUVベースプロセス機能を単一のプラットフォームに統合した多用途の最先端ソリューションEVG®7300 SmartNIL® ナノインプリント/ウェーハレベル・オプティクス装置

EVGのコーポレート・テクノロジー・ディレクターであるトーマス・グリンスナーは以下のように述べています。「ナノインプリント技術で20年以上の経験を持つEV Groupは、進化するお客様のニーズを満たす革新的なソリューションを開発するために、この重要な分野を開拓し続けています。当社のナノインプリントソリューション・ファミリーの新製品であるEVG7300は、SmartNILフルフィールド・インプリント・テクノロジーと、高度な位置合わせ精度・プロセスパラメーター制御機能を備え、レンズ成形とレンズスタッキングプロセスにも対応する最先端のシステムです。これにより、かつてない柔軟性をお客様に提供し、業界の研究開発と生産ニーズに応えます。」

EVG7300は、スタンドアロンツールとしての使用に加え、EVGのHERCULES^®NIL完全統合型UV-NILトラックシステムにモジュールとして統合することができます。したがって、洗浄やレジスト塗布、ベーク処理といった前処理や、その他の後処理などと組み合わせ、お客様固有のプロセス要件に対し、最適な装置構成の構築が可能となっています。

このシステムは、アライメントステージの改善、高精度光学系、マルチポイントギャップ制御、非接触ギャップ測定、多点荷重制御機能を搭載することにより、業界をリードするアライメント精度（300 nmまで）を実現しています。さらに、3つの異なるプロセスモード（レンズ成形、レンズスタッキング、SmartNILナノインプリント）を備え、150mmから300mmのウェーハまでの基板サイズに柔軟に対応します。

EVG7300は、スタンプとウェーハの高速搬送、高速アライメント光学系、高出力UV硬化、そしてコンパクトな装置フットプリントによって、新規WLO製品に対する業界の製造ニーズに応える、非常に効率的なプラットフォームとなっています。

製品のご購入について

EVGは、新たに発表された本装置の受注を開始しています。また、オーストリア本社にあるEVG^®NILPhotonics^® コンピテンスセンターでは、製品のデモンストレーションも承っております。全自動型EVG7300 SmartNILナノインプリントウェーハレベルオプティクス装置の詳細については、https://www.evgroup.com/ja/products/nanoimprint-lithography/uv-nil-smartnil/evg-7300/をご覧ください。

EV GROUP（EVG）について

EV Group（EVG）は半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイスおよびナノテクノロジーデバイスの製造装置およびプロセスソリューションのリーディングサプライヤーです。主要製品には、ウェーハ接合、薄ウェーハプロセス、リソグラフィ/ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）や計測機器だけでなく、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置などがあります。1980年に設立されたEVGは、グローバルなお客様および世界中のパートナーに対し緻密なネットワークでサービスとサポートを提供します。 EVGに関する詳しい情報はhttps://www.evgroup.com/ja/ をご参照ください。

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