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【ホプキントン（米マサチューセッツ州）2023年12月5日PR Newswire＝共同通信JBN】特殊ガスと先端素材のリーダーEFC Gases & Advanced Materials（EFC）は、サイマー（Cymer）のエキシマレーザーでの使用が正式に認められたネオンガス・リサイクルシステムを発表しました。ネオンは、深紫外線（DUV）リソグラフィに不可欠で、レーザー光生成で重要な役割を果たしています。この画期的システムは、エンドユーザーに長期的に安定したネオン価格を提供するとともに、希ガスおよび半導体業界を大きく変える持続可能な技術に対するEFCの取り組みを象徴しています。
EFCのMatt Adams取締役副社長は「OEM認定された本システムは、エキシマレーザー技術を大きく飛躍させ、業務効率を改善し、環境面でもメリットをもたらします。化学と技術を活用してポジティブな変化を起こすという、当社の取り組みを反映したシステムです」と述べ、イノベーションと持続可能性の推進にネオンガス・リサイクルシステムが果たす役割を強調しました。Adams氏はさらに、サイマーに謝意を表するとともに、両社は共により持続可能な半導体エコシステムに向け取り組んでいると力説しました。
ネオンガス・リサイクルシステムの主な特徴
＊OEM認定された卓越性：OEM認定を受けた本リサイクルシステムは、業界標準のエキシマレーザーとシームレスに統合され、信頼性と高性能を保証します。
＊ネオン価格の安定: 業界の先駆的取り組みである本システムは、通常は排出されるレーザーガスを回収・再利用することで、長期的に安定したネオン価格とサプライチェーンの継続性を保証し、企業の財務計画と経営効率の改善を可能にします。
＊二酸化炭素排出量の削減: ネオンのリサイクルは、その製造の必要性を相殺するこ
とで、今後20年間で1半導体工場当たり100万トン超の二酸化炭素排出量が削減できます。これは、半導体業界の持続可能な製造への取り組みと一致しています。
EFC Gases & Advanced MaterialsのPavel Perlov社長兼最高経営責任者（CEO）は「当社の新しいネオンガス・リサイクルシステム発表は、世界的な供給変動に関わりなく、ネオンガス価格を安定させ、その利用を保証する画期的出来事です。本システムは単なる製品ではありません。半導体産業を責任ある未来に向かわせるソリューションを提供するという当社の熱意の証です」と強調しています。
▽EFC Gases & Advanced Materialsについて
高純度電子ガス、先端素材、希ガス供給のリーダー、EFC Gases & Advanced Materialsは、半導体製造、航空宇宙、照明、公益事業など極めて重要な産業向けの持続可能な技術の開拓に注力しています。当社の卓越性への取り組みは、製品の完全性と比類のない純度を保証するグローバルな調達基準と最先端の計測プロセスに反映されています。当社の使命の中心には、革新的な化学を通して世界を変え、企業と地球の両方にメリットをもたらすソリューションを提供するとの意気込みがあります。EFCの詳細については、www.efcgases.com をご覧ください。
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